第131章 產業鏈佈局

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賈東旭站在機械廠那略顯陳舊的辦公室裡，窗外的陽光透過有些斑駁的玻璃灑在地上，形成一片片光影。此時的他，剛剛忙完組建光刻機研發團隊的大事，可臉上卻沒有絲毫懈怠後的輕鬆，反而眉頭緊鎖，眼神中滿是思索。他心裡清楚，要想真正研發出中國自己的光刻機，光有團隊還遠遠不夠，還得進行全面的產業鏈佈局，把每一個環節都牢牢抓在手裡。

“這產業鏈佈局，就像是一場沒有硝煙的戰爭，每一步都得小心翼翼，走錯一步，可能就滿盤皆輸。”賈東旭喃喃自語道。

一、光學元件的艱難突破

鏡頭，那可是光刻機的“眼睛”，至關重要。而要生產出高質量的鏡頭，高純度光學玻璃是關鍵。賈東旭把目光投向了成都光明光電。他親自跑到成都，和成都光明光電的領導談合作。

“領導，咱們現在搞光刻機研發，這高純度光學玻璃熔鍊線可少不了。我知道你們廠在光學玻璃方面有基礎，要是能合作建一條熔鍊線，那對咱們國家的光刻機事業可是大好事啊！”賈東旭誠懇地說道。

成都光明光電的領導聽了，有些猶豫：“這可不是個小工程，投資大，風險也不小，而且咱們也沒做過這麼高精度的光學玻璃。”

賈東旭一聽，趕忙把系統提供的技術資料和未來光刻機市場的前景詳細地介紹了一番。“您看，只要咱們把這熔鍊線建起來，以後不僅能供應光刻機的需求，還能開拓其他高階光學產品市場，前景一片光明啊！”

經過多次溝通和協商，成都光明光電終於被賈東旭說服，決定合作建立高純度光學玻璃熔鍊線。從選址、裝置採購到人員培訓，賈東旭都全程參與，忙得腳不沾地。

1986年，這條凝聚著無數人心血的熔鍊線終於建成並投產。當第一枚na=035鏡頭被生產出來時，整個車間都沸騰了。雖然良品率只有60，但這已經是一個了不起的開端。賈東旭看著那枚鏡頭，眼眶微微溼潤：“這只是第一步，我們一定會越來越好的。”

在光源方面，汞燈g線光源是現階段的主要選擇。賈東旭找到了北京電光源研究所，希望能聯合開發。

“所長，我們光刻機研發急需穩定高效的汞燈g線光源，你們所在這方面有研究基礎，咱們一起合作，肯定能攻克這個難題！”賈東旭滿懷期待地說。

北京電光源研究所的所長很感興趣，但也提出了困難：“汞燈的壽命和穩定性一直是個問題，要達到光刻機的要求，可不是件容易的事。”

賈東旭點點頭：“我知道難，但只要我們齊心協力，肯定能行。我們有一些技術資料可以共享，大家一起想辦法。”

於是，雙方組建了聯合研發小組，日夜攻關。經過無數次的實驗和失敗，終於在1987年取得了突破，實現了汞燈2000小時的壽命。雖然和同期日本的3000小時還有差距，但已經能滿足現階段光刻機研發的基本需求。

二、精密機械的穩步推進

工作臺和對準系統是精密機械部分的核心。上海機床廠在精密製造方面有深厚的底蘊，賈東旭再次來到上海，和上海機床廠商討建立恆溫車間生產氣浮導軌的事宜。

“領導，這恆溫車間對生產高精度氣浮導軌至關重要，只有在穩定的溫度環境下，才能保證導軌的精度。咱們一起幹，肯定能為光刻機打造出最精準的‘腳’！”賈東旭充滿激情地說道。

上海機床廠的領導被賈東旭的熱情和誠意打動，決定全力支援。從車間的設計建設到裝置的安裝除錯，每一個環節都嚴格把關。

1988年，恆溫車間正式投入使用，生產出的氣浮導軌定位精度達到了±002μ。雖然離最終目標還有一點距離，但這已經是國內精密機械製造領域的一次重大突破。