第134章 逐光之路

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在那個改革開放浪潮洶湧澎湃的八十年代，中國的科技領域正處在一場艱難卻充滿希望的奮進之中。賈東旭，一個懷揣著科技報國夢想的年輕人，站在了時代的風口浪尖，肩負起率領團隊研發光刻機的重任。

1985年，那是一切開始的地方。賈東旭所在的團隊就像一群即將踏上未知征途的勇士，面臨著諸多的困難和挑戰。光刻機，這個被譽為半導體工業皇冠上的明珠，其研發難度超乎想象。每一個引數的設定，每一個技術環節的突破，都像是攀登一座高聳入雲的山峰。

為了爭取到研發所需的資金，賈東旭四處奔走。那時候，國家對於科技研發的投入雖然在逐步增加，但競爭也是異常激烈。1985年，經過無數次的彙報、爭取，他們終於從國家科委那裡拿到了專項經費1億元。這1億元的資金，就像是一場及時雨，讓團隊看到了希望的曙光。“兄弟們，這可是國家對咱們的信任，咱們一定要把光刻機搞出來！”賈東旭在團隊動員大會上激動地說道。

資金問題暫時得到了解決，可技術難題卻如同一座座大山橫亙在他們面前。為了降低技術風險，賈東旭決定建立“雙備份”研發團隊。長春和上海，兩個城市的研發團隊就像兩支並肩作戰的軍隊，各自發揮優勢，又相互競爭。在長春，團隊成員們日夜鑽研，攻克一個又一個理論難題；在上海，實驗室內的裝置日夜轟鳴，一次次的實驗驗證著理論的可行性。1986年，為了確保研發過程的規範化和高質量，團隊引入了i9001質量管理體系。“這不僅是一個標準，更是我們對自己的要求，我們要以國際標準來打造我們的光刻機。”賈東旭對團隊成員們強調道。

在專利方面，他們也絲毫不敢懈怠。當時，國際上的專利競爭異常激烈，如果沒有自己的核心專利，研發成果很可能會被別人輕易複製。透過澳門渠道，他們註冊了“多層抗反射膜”等核心專利。這就像是為自己的研發成果築起了一道堅固的防線。1987年，又與東德蔡司達成了專利交叉授權。這一舉措，不僅讓他們獲得了國際先進的技術，也讓他們的專利得到了國際認可。

1986 - 1987年，是研發原型機的關鍵時期。團隊成員們就像一群不知疲倦的工匠，精心打磨著華光hg - 1。那時候，實驗室就是他們的戰場，各種儀器裝置就是他們的武器。“這解析度能不能再提高一點？產能還能不能再增加一些？”賈東旭每天都在思考這些問題。經過無數次的除錯和改進，華光hg - 1終於誕生了。它的解析度達到了20μ，產能為30片/小時，採用汞燈g線作為光源。為了驗證它的效能，團隊帶著它來到了無錫742廠試產8086處理器。當看到第一批晶片生產出來的時候，大家的心都提到了嗓子眼。經過檢測，良品率達到了40。雖然這個數字並不完美，但對於團隊來說，這已經是一個巨大的鼓舞。“這只是一個開始，我們一定能做得更好！”賈東旭興奮地對大家說。

1987年，對於團隊來說，是一個重要的轉折點。華光hg - 1納入了“863計劃”重點支援專案。這就像是給團隊注入了一劑強心針，讓他們更加堅定了研發的信心。“國家都這麼支援我們，我們沒有理由不把光刻機做好。”團隊成員們相互鼓勵著。1988年，在無錫建立了“國家光刻機示範基地”。這個示範基地，就像是一個展示中國光刻機技術的視窗，吸引了無數人的目光。

1988 - 1989年，團隊開始向量產型光刻機發起衝擊。華光hg - 2的研發過程同樣充滿了艱辛。他們不斷最佳化設計，改進工藝，提高解析度和產能。“這overy精度一定要控制好，這關係到晶片的質量。”賈東旭在車間裡不停地叮囑著技術人員。終於，華光hg - 2成功問世。它的解析度提升到了15μ，